真空鎢絲燒結爐是一種重要的高溫燒結設備，通常采用立式結構，主要由爐體、爐蓋、爐底、加熱元件、真空系統、溫場、供氣系統、水冷系統、電控系統等部分組成。爐體內部采用高純鎢絲網作為發熱元件，豎直懸掛在爐體內，通過側面引出的鎢電極與水冷銅電極連接并引出爐外與變壓器連接。爐體外部則采用雙層水冷結構，以及不銹鋼精細拋光內腔和多層金屬隔熱屏，以保障腔體出色的溫度控制及高真空度。
真空鎢絲燒結爐是一種用于高溫燒結和熱處理的設備，以下是其一般操作步驟：
1、準備工作
檢查設備
確認燒結爐的外觀無損壞，各部件連接正常，包括電源線、接地線等。
檢查爐門密封是否良好，確保在燒結過程中能夠保持真空環境。
查看真空泵、充氣閥、放氣閥等閥門是否正常工作，開關是否靈活。
清潔爐膛
清除爐膛內的雜物、灰塵和殘留物，避免在燒結過程中對樣品造成污染或影響燒結效果。
檢查爐膛內是否有裂紋或其他損壞，如有問題應及時修復或更換。
放置樣品
根據樣品的大小和形狀，選擇合適的坩堝或托盤，并將樣品均勻地放置在其中。
確保樣品之間有足夠的間隔，以保證熱量均勻傳遞和氣體流通。
2、抽真空
開啟機械泵
打開機械泵電源，啟動機械泵開始抽氣。
觀察真空計的示數，當真空度達到一定數值（通常為10-50Pa）時，關閉機械泵與燒結爐之間的連接閥門。
開啟羅茨泵
當機械泵將真空度抽到一定程度后，打開羅茨泵，進一步降低爐膛內的氣壓。
繼續觀察真空計的示數，直到達到所需的真空度（一般為10?³-10??Pa）。
檢查漏率
在達到所需真空度后，關閉所有與外界相連的閥門，觀察一段時間（通常為15-30分鐘），看真空度是否有明顯變化。
如果真空度下降不明顯，說明設備的密封性良好；如果真空度下降較快，則需要檢查設備的密封部位，找出泄漏點并進行修復。
3、升溫燒結
設置升溫程序
根據樣品的要求和燒結工藝，在控制系統中設置合適的升溫程序，包括升溫速率、保溫溫度和保溫時間等參數。
一般來說，升溫速率不宜過快，以免樣品內部產生過大的熱應力導致開裂或變形；保溫溫度和保溫時間則應根據樣品的性質和燒結要求來確定。
啟動加熱
確認升溫程序設置無誤后，啟動加熱系統開始升溫。
在升溫過程中，密切觀察溫度和真空度的變化，確保設備運行正常。如果發現異常情況，如溫度過高、真空度下降等，應立即停止加熱并采取相應的措施進行處理。
保溫燒結
當爐膛溫度達到設定的保溫溫度后，進入保溫階段。在保溫過程中，樣品會發生一系列的物理和化學變化，如顆粒重排、晶粒生長等，從而實現致密化和燒結。
保溫時間的長短取決于樣品的性質和燒結要求，一般在幾十分鐘到數小時不等。
4、冷卻出爐
降溫冷卻
保溫結束后，按照一定的降溫速率開始降溫。降溫速率應根據樣品的性質和要求來確定，一般比升溫速率稍慢一些。
可以通過自然冷卻或采用風扇等輔助冷卻方式來加快降溫速度，但要避免降溫速度過快導致樣品產生裂紋或變形。
充氣取出
當爐膛溫度降至一定溫度（通常為100℃以下）后，關閉加熱系統，停止通入保護氣體。
緩慢打開充氣閥，向爐膛內充入氮氣或其他惰性氣體，使爐膛內的壓力恢復到大氣壓。
打開爐門，取出燒結好的樣品。注意在取出樣品時要佩戴防護手套，避免燙傷。
5、后續處理
清理設備
關閉燒結爐的電源，清理爐膛內的殘留物和雜物。
檢查設備的各個部件是否正常，如有損壞或磨損應及時更換或維修。
記錄數據
對本次燒結過程的各項參數進行記錄，包括升溫程序、真空度、溫度變化曲線等。這些數據可以為后續的實驗和生產提供參考。
